สถานการณ์การใช้งาน
กระบวนการถักแห้งถูกนํามาใช้อย่างกว้างขวางในการผลิตชิป. วาฟเฟอร์ซิลิคอนถูกวางเป็นอิเล็กตรอดบวกที่ด้านล่างของห้องถักแผ่นกระจายก๊าซที่มีรูเล็กๆ หนาแน่น, ทําหน้าที่เป็นอิเล็กตรอดลบ, ถูกติดตั้งบนด้านบนของห้อง.การผลิตขนาดเล็กถูกดําเนินการบนแผ่นซิลิคอนภายในห้องอุณหภูมิสูง ตามรูปแบบวงจรที่กําหนดโดยการฉลาก, เพื่อการถักพื้นผิวของแผ่นแผ่นให้ถึงความกว้างและความลึกของเส้นที่ออกแบบ และสร้างวงจรบูรณาการเล็ก ๆ น้อย ๆ
อิเล็กตรอดบนและล่างติดต่อกับพลาสมาโดยตรง ในขณะที่ถักแผ่นซิลิคอน พลาสมายังสกัดอิเล็กตรอดทั้งสองอิเล็กทรอดได้รับการกัดกรองทางกายภาพและทางเคมีอย่างช้าช้าจากก๊าซกัดกรองเมื่อสวมไปถึงระดับหนึ่ง อิเล็กทรอดต้องเปลี่ยนเพื่อรับประกันการถักแบบเรียบร้อย The evenly‑distributed holes on the upper electrode (shower head / gas distribution plate) will deviate in dimension due to etching‑gas corrosion and need replacement when tolerance limits are exceeded.

การวิเคราะห์ทางแก้ไข
🔹 การทดสอบที่ φ0.45 มิลลิเมตร PCD micro-drill การแปรรูปซิลิคอน monokrystalline แสดงการฉีกขอบรูอย่างน้อย ภายใต้การตรวจสอบกล้องจุลทรรศน์ความละเอียดของรูกลมน้อยกว่า 0.005 มิลลิเมตรความแม่นยําของมิติภายใน ±0.003 มิลลิเมตร และความหยาบผิว ≤Ra0.2 μm ตอบสนองความต้องการของลูกค้า
🔹ในการทดสอบเบื้องต้น เครื่องเจาะแสดงการสกัดขอบเล็กน้อยหลังจากการแปรรูป 3500 หลุมและยังคงใช้ได้
🔹 เครื่องเจาะขนาดเล็ก Worldia PCD แบ่งออกเป็นสี่ชุด (WZ1, WZ2, WZ3 และ WZ-X) ตามวัสดุที่ผ่านการแปรรูปและกรณีการใช้งาน, โดยมีช่วงความกว้าง φ0.1-φ1.0 มิลลิเมตรเครื่องเจาะ PCD ที่แข็งแรง ใช้การออกแบบที่ตั้งใจตัวเอง, รองรับสัดส่วนความลึกสูงสุดต่อกว้างสูงสุด 57:1. ชิป-ฟลอตถูกผลิตโดยการบดอินทิกรัลเพื่อการถอนชิปที่เรียบร้อย. ปลายผนังรูที่แปรรูปสามารถบรรลุ Ra0.2 μm หรือดีขึ้นด้วยการบดขอบรูน้อยจุดเจาะ PCD ส่งผลิตความทนทานการใช้งานที่ดี, อายุเครื่องมือยาวและความสม่ําเสมอขนาดสูง ผลิตภัณฑ์ตอบสนองความต้องการการแปรรูปรูขนาดเล็กสําหรับซิลิคอนโมโนคริสตัล, ซิลิคอนโพลิกริสตัล, SiC, เซรามิค,ซิลิกาหลอมและวัสดุอื่น ๆ ในอุตสาหกรรมครึ่งตัวนํา.

แหล่งข้อมูล: รายงานการทดสอบเครื่องมือของกรมเทคโนโลยีเครื่องมือแม่นยําของบริษัท Beijing Worldia Diamond Tools CO., Ltd

สําหรับข้อมูลเพิ่มเติม โปรดไปที่:

📌www.worldia-tools.com

หรือส่งข้อสอบไปยัง: info@worldia-tools.com